洁净厂房设计规范 GB50073-2013
4 总体设计
4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置
4.2 工艺平面布置和设计综合协调
4.3 人员净化和物料净化
4.4 噪声控制
4.5 微振控制
4.2 工艺平面布置和设计综合协调
4.3 人员净化和物料净化
4.4 噪声控制
4.5 微振控制
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