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电气火灾痕迹物证技术鉴定方法 第7部分:EDS成分分析法 GB/T16840.7-2021
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5 仪器设备
5.1 扫描电子显微镜
分辨率3.0nm（30kV）；检材条件较好时，其有效放大倍率为20倍~100000倍。
5.2 X射线能谱仪
在MnK
α
处的分辨率高于133eV（计数率为2500cps时），元素分析范围为
4
Be~
92
U。
5.3 其他所需设备
超声波清洗机、离子溅射仪、精密切割机、超薄切片机、干燥箱。
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4 原理
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6 检材的制备
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