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多晶硅工厂设计规范 GB51034-2014
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5 工艺设计
5.1 一般规定
5.2 三氯气硅合成和四氯化硅氢化
5.3 氯硅烷提纯
5.4 三氯气硅氢还原
5.5 还原尾气干法回收
5.6 硅芯制备及多晶硅产品后处理
5.7 分析检测
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5.1 一般规定
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